バルカー
製品番号
製品名称/
内 容
用 途
►AC4640 アーマークリスタル
アーマークリスタルを断面O形のリング状に成形した琥珀透明製品。パーティクル対策グレード。
► MC4640 オプティックアーマー オプティックアーマーを断面O形のリング状に成形した無色透明製品。低放出ガスグレード。
► DC4640 DC156 DC156を断面O形のリング状に成形した濃青色製品。耐プラズマグレード。
► DS4640 DS403 DS403を断面O形のリング状に成形した黒色製品。耐プラズマグレード。
► F4640 フリッド フリッドを断面O形のリング状に成形した黒色製品。不活性ガス環境下専用。
► FA4640 フリッドア-マ-
フリッドアーマーを断面O形のリング状に成形した黒色製品。特殊低摩擦グレード。不活性ガス環境下専用。
► SA4640 スポックア-マ-
スポックアーマーを断面O形のリング状に成形した白色製品。
► HA4640 ハイレックアーマー
ハイレックアーマーを断面O形のリング状に成形した琥珀透明製品。
► UA4640 アルティックアーマー アルティックアーマーを断面O形のリング状に成形した濃琥珀透明製品。
 ► UAF4640 アルティックアーマーエフ アルティックアーマーエフを断面O形のリング状に成形した濃紺色製品。
 ► LA4640  レイブアーマー レイブアーマーを断面O形のリング状に成形した青色製品。耐酸素プラズマ専用グレード。
 ► VP4640  フローリッツSB パーフロロエラストマーであるフローリッツSBを断面O形のリングに成形した黒色製品。耐薬品性に極めて優れています。
 ► VPTR4640  フローリッツTR  パーフロロエラストマーであるフローリッツTRを断面O形のリングに成形した濃褐色製品。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性、耐クラック性にも優れています。
 ► VPT4640 フローリッツT20 パーフロロエラストマーであるフローリッツT20を断面O形のリングに成形した黒色製品。高い耐ラジカル性を有しつつ、純粋性、低歪特性、耐熱性、動的部位でのシール性にも優れています。
 ► VPHS4640  フローリッツHS パーフロロエラストマーであるフローリッツHSを断面O形のリングに成形した濃褐色の半導体製造装置における熱拡散工程専用の製品。フローリッツシリーズで最高の耐熱性を有し、耐ラジカル性、純粋性、低歪特性にも優れています。
 ► WD4640  アーキュリーAD  酸性溶液に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた濃琥珀透明製品。
 ► WL4640  アーキュリーAL  従来のふっ素ゴムでは使用困難であったアンモニアをはじめとするアルカリ溶液に対する耐性が優れた黒色製品。
 ► WO4640  アーキュリーSO  ケトン類、エステル類、アミン類などの極性有機溶媒に対する耐性が優れた白色製品。
 ► OZT4640  アーキュリーOZT  「オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れ、金属・有機物溶出量が低減されているため純粋性に優れた無色透明製品。
 ► OZW4640  アーキュリーOZW  オゾンガス・オゾン水に対する耐性が優れています。アーキュリーOZTに比べると耐熱性が向上した白色製品。
► C4640 クリスタルラバー アーマークリスタルを断面O形のリング状に成形したものです。
► B4060 ボンデッド・ゲート・シール ボンデッド・ゲート・シールは、ゲートプレート金属とチャンバー金属の接触を防止し、暴露面積を低減することでシール寿命を延ばし安定したシール性能を保ちます。さらに、Oリングよりも、ねじれや摩擦に対する耐性に優れております。